스크러버 (Scrubber)
주식회사 로이드는 영진 아이엔디의 공식 대리점입니다.
스크러버 (Scrubber)
주식회사 로이드는 영진 아이엔디의 공식 대리점입니다.
YOUNG JIN IND
영진 아이엔디는 반도체공작기계, 전자부품 제조, 환경설비제작설치, 대기환경 전문회사 입니다.
YPS-04W
반도체와 LCD제조공정에서 사용되는 유해한 PFCs계 GAS를 THERMAL PLASMA를 이용하여 환경적으로 완벽하게 분해시키고 처리하는 시스템 입니다.
영진아이엔디의 HI-PLASMA SCRUBBER는 반도체/LCD 작업현장에서 발생하게 되는 폭발성·부식성·독성가스 뿐만 아니라,
지구 온실 가스인 PFCs계 GAS를 열플라즈마를 이용하여 완전 분해 처리 가능 합니다.
| Description | Specification | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Type | Heat-Catalyst | ||||||
| Capacity | 1,000 LPM | ||||||
| Processing Capacity | 300 LPM | ||||||
| Inlet / By-pass | NW40 × 4 / NW40 × 4 | ||||||
| Outlet | NW100 × 1 | ||||||
| Dimension | 800(W) × 800(D) × 2,050(H) | ||||||
| Utility | Power | 208V, 3Phase, AC, 60A | |||||
| N₂ | 0–60 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| CDA | 10–100 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| BCW | 1.5 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| PCW Supply | 8.5 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| PCW Return | 8.5 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| Cabinet Exhaust | NW100, 1 port, MF | ||||||
| Drain | 25A | ||||||
YPS-06AMP
THERMAL PLASMA를 이용하여 반도체 및 LCD 제조 공정에서 사용되는 PFC류 가스를 분해하고 처리하는 시스템입니다.
YOUNGJIN IND의 PLASMA SCRUBBER는 THERMAL PLASMA를 이용하여 반도체/LCD 제조 과정에서 발생하는
폭발성, 부식성, 독성 가스 및 온실가스인 PFC류 가스를 분해 처리합니다.
| Description | Specification | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Type | Hybrid-Catalyst | ||||||
| Capacity | 1,000 LPM | ||||||
| Processing Capacity | 600 LPM | ||||||
| Inlet / By-pass | NW40 × 6 / NW40 × 6 | ||||||
| Outlet | NW100 × 1 | ||||||
| Dimension | 900(W) × 1,200(D) × 2,030(H) | ||||||
| Utility | Power | 208V, 3Phase, AC, 60A | |||||
| N₂ | 0–60 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| CDA | 10–100 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| BCW | 3 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| PCW Supply | 8 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| PCW Return | 8 LPM, 1/2″, SWG, 1 port | ||||||
| Cabinet Exhaust | NW100, 1 port, MF | ||||||
| Drain | 25A | ||||||