Parts
주식회사 로이드는 대만 Arena Instrument / EVER SUMMIT GRAPHITE CORP 의 공식 대리점입니다.
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주식회사 로이드는 대만 Arena Instrument / EVER SUMMIT GRAPHITE CORP 의 공식 대리점입니다.
ARENA
대만의 Arena Instrument는 EKK/NOK Japan 계열의 반도체용 씰링 전문 기업으로, FFKM/FKM 기반의 고내열·내플라즈마 소재를 개발하여 Etch, CVD, PVD 등 고진공 공정용 Sealing 솔루션을 제공합니다.
자사 설비 내 Plasma 내성 평가 및 TSMC Qualified 공급망을 기반으로, 고신뢰성 Perfluoroelastomer Sealing 제품을 전세계 Fab에 공급합니다.
Arena Instrumen
· EKK/NOK Japan 계열사로, 재료 수급 및 기술지원 안정성 확보
· TSMC Qualified Supplier, 주요 Fab에 양산 납품 실적
· In-house Plasma / O₂ / NF₃ 내성 시험 데이터 기반 소재 개발
· 금속-고무 복합 구조 제품 생산 (Bonded Seal, Valve Seal)
· AMAT·LAM·TEL 등 글로벌 장비사 전용 Seal Portfolio 보유
EVER SUMMIT
EVER SUMMIT은 대만의 Graphite 가공 전문 회사로, 30년 이상 국소부 고정용으로 사용합니다.
EVER SUMMIT Graphite
맞춤형 설계 및 양산
· Graphite heat spreaders, graphite heaters, graphite jigs/fixtures
· Graphite crucibles, graphite nozzles, graphite bearings
· Custom Boron Nitride (BN) components
고온 및 초청정 공정 솔루션
· Semiconductor:carriers, jigs/fixtures, boats, insulating components, heating elements
· Solar & Glass:support fixtures/clamps, insulation plates/shields
· R&D / Academia:small-batch custom parts