Laser Grooving Solution
주식회사 로이드는 대만 GTA 공식 대리점입니다.
Laser Grooving Solution
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GTA
GTA Laser Grooving Solution은 수용성 고분자 폴리머 수지(Water-based polymer solution) 로, 웨이퍼 표면에 Spin-coating하여 온도 내성이 높은 보호막(Protective Thin Film)을 형성합니다.
이 보호막은 Laser Grooving 중 발생하는 열, 입자(debris), 균열(Cracking)로부터 칩과 유전체 층을 보호하고, 순수 DIW 세정으로 쉽게 제거 가능한 일시적 코팅(Temporary Coating)입니다.
Product Feature
· 수용성 / 친환경 조성: VOC 최소화, 장비 오염 저감
· 고온 안정성: 200 °C 이상에서도 제품 안정 유지
· 높은 내화학성 및 내열성
유기 성분의 기화(vaporization) 를 통한 냉각 효과로 레이저 그루빙 해상도 향상
· Laser Heat Shield: 유기물의 기화로 열 확산 방지
고강도 폴리머 막이 형성되어 절삭 잔여물의 비산·스크래치 방지
· Residue-free Clean Removal: DIW(순수 물) 세정만으로 완전 제거
· 장비 호환성 우수: 대부분의 Laser Dicing (Disco, Han’s, AOI) 시스템과 호환
절삭 품질 균일화 및 Die Edge Cracking, Delamination 방지
· Pico Laser 대응품 보유
| 항목 | LS-168F | LG-168 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| pH | 3.5 ± 1 | 4.5 ± 1 | |||||||
| Viscosity (25 °C) | 60 ± 5 cP | 220 ± 30 cP | |||||||
| Specific Gravity | 1.04 ± 0.01 | 1.04 ± 0.03 | |||||||
| Surface Tension | 42 ± 5 mN/m | 45 ± 5 mN/m | |||||||
| Water Solubility | Y | Y | |||||||